水平扩散渗镝炉

主要用于高性能钕铁硼等磁性材料的高精密扩散渗镝、渗铽等工艺，以及高性能钐钴等磁性材料的精密真空气氛烧结、退火（含快冷）等工艺。

产品性能：

高真空度，工艺真空优于1.0×10-3Pa

快冷、高真空、气氛等控制，满足客户特殊工艺要求

扩散渗镝/铽室+预沉积（涂覆/蒸镀）室等

工作温度：500-1000℃/1500℃/2400℃，高可靠性，高重复性

批量生产型（连续3-5室渗镝炉），100Kg/炉，300Kg/炉