旋转扩散渗镝炉
主要用于高性能钕铁硼等磁性材料的高精密扩散渗镝、渗铽等工艺,以及高性能磁性材料和功能性材料的氮化处理工艺等。
产品性能:
水平结构,外热旋转,优化的反应室结构设计,满足特殊工艺
高真空度,工艺真空优于1.0×10-3Pa,保证材料特性
新型开合式加热体,使用寿命长,恒温区稳定性好
工作温度:500-1100℃,高可靠性,高重复性
快冷、真空、气氛、压力等控制,负压/正压自动控制
研发型:5-10kg/炉,生产型:50kg/炉,150kg/炉
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