垂直扩散渗镝炉

主要用于高性能钕铁硼等磁性材料的高精密扩散渗镝、渗铽等工艺，以及高性能钐钴等磁性材料的精密真空气氛烧结、退火（含快冷）等工艺。

产品性能：

高真空度，极限真空优于6.0×10-4Pa

快冷、真空、气氛等控制，满足客户特殊工艺要求

工作温度：500-1000℃/1200℃，高可靠性，高重复性

优化的反应室结构设计

温度串级控制，更好的保证恒温区的稳定性

研发型/小批量生产：10-30kg/炉