湿法+燃烧废气处理
产品性能：
LPCVD、PECVD、刻蚀等的废气处理
采用电热/气燃烧方式，内部喷淋水/配液循环，液体成分监测、具有自动补水补液
处理能力，科研型：100SLM，
生产型：400/600/1000/1500SLM......
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