氨分解废气处理
产品性能：
“热解+分解”方式，节能、高效处理太阳能电池PECVD等设备的废气，将SiH4进行高温热解，将NH3直接进行分解，无需氨水处理，无需燃气。
处理能力，生产型：400/600/1000/1500SLM
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