水平扩散炉炉体
全系列氧化扩散炉、LPCVD等设备的高质量加热炉体，满足4"、6"、8"、12"晶圆制造工艺。
产品性能：
※ 满足4~12吋晶圆工艺
※ 通用型～1300℃/高温型～1350℃/快速升降温型水冷却型
※ 优质材料，如KANTHAL A-1、APM等
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