科研型扩散炉-青岛华旗科技有限公司-氧化炉/扩散炉/LPCVD/低压化学气相沉积CVD/HVPE/扩散炉炉体/高温氧化炉/高温退火炉/半导体废气处理SCRUBBER

产品分类ProClass: 半导体工艺装备; 真空炉、气氛炉系列; 特气及废气处理系列; 炉体系列; 工厂及装备自动化

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科研型扩散炉: 发布日期：2021-08-25; 浏览次数：次; 咨询电话：13953232103; 下一个产品上一个产品

详细介绍

1.科研型扩散炉.jpg

产品性能：

2~12寸晶圆工艺，5~25片/批

占地面积小，水平多管/垂直单管

200～1300℃/1400℃/2200℃（高温）

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